1、環(huán)境影響報告書信息公示說明

合肥先微半導體材料有限公司高純電子氣體新材料項目位于合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)珠城西路與通寶路交口西北角。擬建設(shè)電子氣提純生產(chǎn)線、準分子激光氣體混配生產(chǎn)線、電子氣分裝生產(chǎn)線、半導體級高純氣體純化器生產(chǎn)線和超潔凈鋼瓶處理線；項目實施后高純?nèi)穑˙F3）提純年產(chǎn)300噸；超純四氯化硅（SiCl4）提純年產(chǎn)300噸；年產(chǎn)準分子激光氣28000瓶，（其中193波長激光氣0.95%F2+3.5%Ar+Ne\13.5%Ar+10ppmXe+Ne，各3000瓶；248波長激光氣0.95%F2+1.25%Kr+Ne\1.25%Kr+Ne，各5000瓶；308波長激光氣4.5%HCl+1%H2+Ne\0.5%HCl+Ne\100ppm-10%H2+Ne，各4000瓶）；高純氧氣（O2）分裝年產(chǎn)1000噸；高純氫氣（H2）分裝年產(chǎn)40000瓶；高純八氟丙烷（C3F8）分裝年產(chǎn)300噸；高純一氧化二氮（N2O）分裝年產(chǎn)3000噸；超純二氧化碳（CO2）分裝年產(chǎn)10000噸；高純氮（N2）分裝年產(chǎn)3000噸；高純氬（Ar）分裝年產(chǎn)3000噸；高純氦（He）分裝年產(chǎn)20000瓶；液氦分裝年產(chǎn)50噸；半導體級高純氣體純化器年產(chǎn)1000套；超潔凈鋼瓶年處理量20000只。另進行甲烷（CH4）、硅烷（SiH4）、氯氣（Cl2）高純電子氣體產(chǎn)品儲存經(jīng)營，年經(jīng)營量分別為50t/a、10t/a、50t/a。

根據(jù)《環(huán)境影響評價公眾參與辦法》，現(xiàn)將項目環(huán)評報告及公眾參與說明（見附件）進行報批前公示。

2、建設(shè)單位及聯(lián)系方式

建設(shè)單位：合肥先微半導體材料有限公司

聯(lián)系電話：13665699325

聯(lián)系人：劉總

聯(lián)系地址：合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)珠城西路與通寶路交口西北角

3、環(huán)評單位及聯(lián)系方式

評價機構(gòu)：合肥市斯康環(huán)境科技咨詢有限公司

聯(lián)系方式：0551-65614551

聯(lián)系人：高工

聯(lián)系地址：合肥市廬陽區(qū)蒙城北路108號

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